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基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能
Department非现建制
张平余; 刘洪; 张军; 王秀娥; 张绪寿
1993
Source Publication摩擦学学报
ISSN1004-0595
Volume13Issue:2Pages:137-144
Abstract作者考察了基体离子注氮预处理对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层结合强度及耐磨性的影响。结果表明, 基体经离子注氮预处理的PECVD TiN镀层之结合强度比基体未经离子注氮预处理的高, 油润滑条件下的耐磨寿命也比后者的长, 干摩擦条件下的耐磨性更比后者的好。X-射线衍射及电子探针分析发现, 基体经离子注氮预处理后镀层的TiN(200)峰宽化, 镀层与基体的界面变宽。
Keyword离子注氮 基体预处理 Tin镀层 结合强度 耐磨性 Nitrogen Implantation Substrate Pretreatment Tin coaTings Adhesive Strength Anti-wear Properties
Subject Area材料科学与物理化学
Funding Organization西安交通大学金属材料强度开放研究实验室资助课题
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/6696
Collection非现建制
Corresponding Author张平余
Recommended Citation
GB/T 7714
张平余,刘洪,张军,等. 基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能[J]. 摩擦学学报,1993,13(2):137-144.
APA 张平余,刘洪,张军,王秀娥,&张绪寿.(1993).基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能.摩擦学学报,13(2),137-144.
MLA 张平余,et al."基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能".摩擦学学报 13.2(1993):137-144.
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