基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能 | |
Department | 非现建制 |
张平余; 刘洪; 张军; 王秀娥; 张绪寿 | |
1993 | |
Source Publication | 摩擦学学报 |
ISSN | 1004-0595 |
Volume | 13Issue:2Pages:137-144 |
Abstract | 作者考察了基体离子注氮预处理对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层结合强度及耐磨性的影响。结果表明, 基体经离子注氮预处理的PECVD TiN镀层之结合强度比基体未经离子注氮预处理的高, 油润滑条件下的耐磨寿命也比后者的长, 干摩擦条件下的耐磨性更比后者的好。X-射线衍射及电子探针分析发现, 基体经离子注氮预处理后镀层的TiN(200)峰宽化, 镀层与基体的界面变宽。 |
Keyword | 离子注氮 基体预处理 Tin镀层 结合强度 耐磨性 Nitrogen Implantation Substrate Pretreatment Tin coaTings Adhesive Strength Anti-wear Properties |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 西安交通大学金属材料强度开放研究实验室资助课题 |
Language | 中文 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/6696 |
Collection | 非现建制 |
Corresponding Author | 张平余 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张平余,刘洪,张军,等. 基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能[J]. 摩擦学学报,1993,13(2):137-144. |
APA | 张平余,刘洪,张军,王秀娥,&张绪寿.(1993).基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能.摩擦学学报,13(2),137-144. |
MLA | 张平余,et al."基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能".摩擦学学报 13.2(1993):137-144. |
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基体预注氮改善PECVDTiN镀层的耐磨(4258KB) | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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