| 氟化碳薄膜的制备与摩擦学性能研究 | |
| 魏利 | |
| Subtype | 工程硕士 |
| Thesis Advisor | 张俊彦 ; 张克金 |
| 2013-05-30 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Degree Discipline | 材料工程 |
| Keyword | 弯曲石墨 氟化碳薄膜 微观结构 摩擦学性能 Curved Graphitic Fluorinated Carbon Film Microstructure Tribological Property |
| Abstract | 本文利用等离子增强化学气相沉积（PECVD）制备了氟化碳基薄膜，研究了薄膜的制备工艺、结构与性能的相关性，考察了薄膜在不同工况条件下的摩擦学性能，探讨了薄膜的摩擦学机理，主要研究成果如下： 1.利用直流脉冲PECVD制备了含弯曲石墨结构嵌插的氟化碳（CG-C:H:F）薄膜，该薄膜拥有优异的弹性恢复以及在空气环境下低的摩擦系数，这些优异的性能源于薄膜中特殊的弯曲结构。另外，通过改变 CF4 流量对薄膜结构的进行调控，结果显示：CF4 的流量对薄膜的结构有较明显的影响，石墨化团簇和结构有序性降低了薄膜的摩擦系数。 2.对 CG-C:H:F 薄膜在不同环境（不同湿度、不同载荷、不同介质）下的摩擦学性能进行了研究。研究表明：（1）随着湿度的增大，对偶球上磨屑形状由球状，棒状向片状转变，导致摩擦系数增大。（2）通过Hertz 接触理论分析，发现实际接触面积与法向载荷比值逐渐降低是导致 CG-C:H:F 薄膜摩擦系数降低的主要原因。（3）薄膜摩擦系数及磨损率受到摩擦介质的影响，在水中表现出较低的磨损率及较平稳的摩擦系数。 3.采用直流 PECVD 制备了非晶氟碳薄膜，对含有不同氟含量的氟碳薄膜的结构及摩擦学性能进行了考察，研究表明：氟的掺入可降低薄膜的摩擦系数。 |
| Funding Project | 纳米润滑研究组 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5540 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 魏利. 氟化碳薄膜的制备与摩擦学性能研究[D]. 中国科学院大学,2013. |
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| 201361魏利.pdf（2990KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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