| 含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法 | |
徐洮; 杨生荣 ; 陈刚; 阎兴斌
| |
| 2009-03-04 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2014-03-21 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明涉及一种含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法。该方法选择二甲基二乙氧基硅烷的甲醇溶液作为沉积液，采用电化学沉积的方法，石墨作阳极，单晶硅片作阴极，通过直流高电压作用在阴极上得到含有二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜。其特点是：设备简单，沉积温度低，可以大面积合成含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳膜。本发明有望在机械摩擦、电学、光学等领域得到应用。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2004-12-24 |
| Patent Number | 200410011633.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN1796612 |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5399 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 徐洮,杨生荣,陈刚,等. 含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法. 200410011633.9[P]. 2009-03-04. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 200410011633.9.pdf（536KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment