| 类富勒烯碳膜的制备方法 | |
王鹏 ; 张俊彦; 刘维民
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| 2010-11-24 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2014-03-20 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种高弹性、低摩擦类富勒烯碳膜的制备方法。本发明采用复合气相沉积系统，利用脉冲高偏压与磁控溅射相结合的方法制备。制备出的类富勒烯碳膜具有原子量级的表面光洁度、较低的摩擦系数、较高的硬度以及良好的弹性恢复性能。因此适用于高精度空间运动部件、微机电系统的润滑，并有望成为一种长寿命、低摩擦的减摩抗磨固体润滑薄膜。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2007-12-25 |
| Patent Number | 200710308591.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN101469402 |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5377 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王鹏,张俊彦,刘维民. 类富勒烯碳膜的制备方法. 200710308591.9[P]. 2010-11-24. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 200710308591.9.pdf（282KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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