| 环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
曾志翔; 李红轩 ; 王立平; 陈丽; 徐洮
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| 2005 | |
| Source Publication | 材料科学与工程学报
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| ISSN | 1673-2812 |
| Volume | 23Issue:5Pages:595-597 |
| Abstract | 用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC)。采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度。通过控制摩擦环境气氛对DLC 薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究。利用光学显微镜和扫描电镜(SEM) 分析了磨痕及磨斑的形貌, 对DLC 薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释。结果表明, DLC 薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2 、H2O 和N2 有关, 其中N2 的存在是DLC 薄膜具有超低摩擦系数的重要原因。 |
| Keyword | Dlc薄膜 气氛 摩擦系数 转移层 Dlc Films Atmospheres Friction Coefficient Transfer Layer |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(50323007;50172052;501751505);国家863资助项目(2003AA305670);中国科学院“百人计划”资助项目 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 先进固体润滑膜组 |
| Citation statistics |
Cited Times:2[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5270 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 曾志翔,李红轩,王立平,等. 环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响[J]. 材料科学与工程学报,2005,23(5):595-597. |
| APA | 曾志翔,李红轩,王立平,陈丽,&徐洮.(2005).环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响.材料科学与工程学报,23(5),595-597. |
| MLA | 曾志翔,et al."环境气氛对类金刚石薄膜摩擦学行为的影响".材料科学与工程学报 23.5(2005):595-597. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2005-595-597.pdf（238KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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