| 金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法 | |
阎逢元 ; 韩修训; 张爱民; 刘维民
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| 2004-09-29 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2002-08-14 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法。本发明包括利用石墨及金属为原料，采用直流磁控溅射及离子注入的制备方法。其特点是：所制涂层是一种改性的物理气相沉积涂层，制备工艺相对简单，具有良好的抗磨损及润滑性能，可作为器件表面减摩抗磨涂层使用。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2001-12-17 |
| Patent Number | 01143088.5 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN1363715 |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3743 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 阎逢元,韩修训,张爱民,等. 金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法. 01143088.5[P]. 2004-09-29. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 01143088.5.pdf（600KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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