| 真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
吴艳霞 ; 李红轩; 吉利; 冶银平; 孙晓军; 陈建敏; 周惠娣
| |
| 2012 | |
| Source Publication | 中国表面工程
 |
| ISSN | 1007-9289 |
| Volume | 25Issue:6Pages:90-95 |
| Abstract | 非晶碳氢(a-C:H)薄膜作为空间润滑材料有很大的应用前景， 它在真空中的摩擦磨损行为与掺杂元素、 摩擦对偶、 滑动速度等因素有关。采用中频非平衡磁控溅射法在AISI202不锈钢和p(111)单晶硅基体上沉积了厚度为1.3～1.6μm的a-C:H膜以及Cr、MoS2 掺杂的a-C:H复合膜。采用球盘摩擦试验机对3种膜的真空摩擦学行为进行了研究， 摩擦性能较好的薄膜在真空中进行了GCr15、Si3N4和C不同对偶以及100、500、1000ｒ/min的不同转速摩擦实验。结果表明： 在沉积气压为5.3×10-1Pa，Ar和CH4的气体流量比为1∶1， 单纯溅射石墨靶(溅射电流12A)的条件下，制备的a-C:H 薄膜在真空中的摩擦因数最低(0.005)，寿命相对最长；对偶对a-C:H膜的摩擦因数影响不大， 但薄膜的耐磨寿命随着对偶硬度的增加而降低； 随着转速的增加，a-C:H膜的摩擦因数和耐磨寿命均降低。 |
| Keyword | 非晶碳氢膜 掺杂膜 对偶 转速 Amorphous Hydrogenated Carbon Counterpartball Rotating Speed |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(51275509,51175491);国家基础研究发展计划(973计划)(2013CB632300) |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 ; 空间润滑材料组 |
| Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
|
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3554 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 吴艳霞,李红轩,吉利,等. 真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响[J]. 中国表面工程,2012,25(6):90-95. |
| APA | 吴艳霞.,李红轩.,吉利.,冶银平.,孙晓军.,...&周惠娣.(2012).真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响.中国表面工程,25(6),90-95. |
| MLA | 吴艳霞,et al."真空中不同转速和对偶对a-C:H膜摩擦学性能的影响".中国表面工程 25.6(2012):90-95. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 90-95-2012.PDF（2411KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment