| 一种含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法 | |
张俊彦 ; 张斌
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| 2011-11-30 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2010-07-07 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种在不锈钢基底上直接沉积含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法。该方法利用中频磁控溅射物理气相沉积技术，以不锈钢为基底材料，采用高纯氮气、氩气和甲烷为反应溅射气体，分别镍靶和钛靶的方法制备了四元含氢纳米结构CNx梯度薄膜。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2008-12-29 |
| Patent Number | 200810189943.8 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN101768722A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3174 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张俊彦,张斌. 一种含氢纳米结构CNx梯度薄膜的制备方法. 200810189943.8[P]. 2011-11-30. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 200810189943.8.pdf（321KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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