用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法; 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法; 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法; 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法 | |
王立平; 胡丽天; 丁奇; 张广安; 薛群基 | |
2011-11-30 ; 2011-11-30 ; 2011-11-30 ; 2011-11-30 | |
Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 ; 中国科学院兰州化学物理研究所 ; 中国科学院兰州化学物理研究所 ; 中国科学院兰州化学物理研究所 |
Date Available | 2010-06-23 ; 2010-06-23 ; 2010-06-23 ; 2010-06-23 |
Country | 中国 ; 中国 ; 中国 ; 中国 |
Abstract | 本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术,能够在工件表面获得微织构形貌造型,然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后,通过镀制钛过渡层,掺杂钛的类金刚石薄膜,能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能,摩擦系数降低高达40%,耐磨性提高1~3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化,延长使用寿命。; 本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术,能够在工件表面获得微织构形貌造型,然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后,通过镀制钛过渡层,掺杂钛的类金刚石薄膜,能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能,摩擦系数降低高达40%,耐磨性提高1~3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化,延长使用寿命。; 本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术,能够在工件表面获得微织构形貌造型,然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后,通过镀制钛过渡层,掺杂钛的类金刚石薄膜,能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能,摩擦系数降低高达40%,耐磨性提高1~3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化,延长使用寿命。; 本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术,能够在工件表面获得微织构形貌造型,然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后,通过镀制钛过渡层,掺杂钛的类金刚石薄膜,能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能,摩擦系数降低高达40%,耐磨性提高1~3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化,延长使用寿命。 |
Subject Area | 材料科学与物理化学 ; 材料科学与物理化学 ; 材料科学与物理化学 ; 材料科学与物理化学 |
Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 |
The second department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Application Date | 2008-12-19 ; 2008-12-19 ; 2008-12-19 ; 2008-12-19 |
Patent Number | 200810189022.1 ; 200810189022.1 ; 200810189022.1 ; 200810189022.1 |
Language | 中文 ; 中文 ; 中文 ; 中文 |
Status | 授权 ; 授权 ; 授权 ; 授权 |
Application Number | CN101748370A ; CN101748370A ; CN101748370A ; CN101748370A |
Patent Agent | 方晓佳 ; 方晓佳 ; 方晓佳 ; 方晓佳 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3173 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王立平,胡丽天,丁奇,等. 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法, 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法, 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法, 用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法. 200810189022.1, 200810189022.1, 200810189022.1, 200810189022.1[P]. 2011-11-30, 2011-11-30, 2011-11-30, 2011-11-30. |
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