含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究 | |
Department | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
黄民备; 赖振国; 张斌 | |
The second department | 纳米润滑中心607 |
2022 | |
Source Publication | 表面技术 |
Volume | 51Issue:1Pages:192-199 |
Abstract | 目的 为含氢碳薄膜在甲醇发动机中应用提供新思路。方法 首先利用 BiP–PECVD 方法在 Si 基底上制备了含氢碳薄膜,并在 500 ℃于 Ar 气氛中进行 1 h 退火处理。通过纳米硬度、X 射线光电子能谱、傅里 叶转变红外光谱、激光共聚焦拉曼光谱、场发射扫描电镜、CSM 摩擦试验机等,分别评价未退火和 500 ℃ 退火含氢碳薄膜的结构、力学性能、表面形貌及在干燥空气和甲醇环境中的摩擦学性能。通过对比,研究 甲醇的引入对 500 ℃退火含氢碳薄膜摩擦学行为造成的影响。结果 500 ℃退火会改变含氢碳薄膜中碳的杂 化方式由 sp3 –C 向 sp2 –C 转变,促使薄膜石墨化,C==C/C—C 的值明显增大(从 0.67 到 0.99),硬度降低 (从 26.5 GPa 到 22.0 GPa),弹性模量几乎不变,H/E 减小,耐磨性变差。在干燥空气中,与未退火碳薄膜 相比,500 ℃退火含氢碳薄膜的摩擦因数降低(从 0.031 到 0.024),磨损率增加了 1.27 倍,而相应摩擦对 偶球的磨损降低(从 4.22×10–6 mm3到 3.99 ×10–6 mm3 )。而在甲醇环境下,500 ℃退火含氢碳薄膜的摩擦 因数增高(从 0.052 到 0.062),磨损率增加了 15.11 倍,相应摩擦对偶球的磨损也增高(从 6.16×10–6 mm3到 13.9×10–6 mm3 )。但是,未退火含氢碳薄膜在甲醇环境中的磨损率是干燥环境中的 1/2.84,表现出降低趋势; 500 ℃退火的含氢碳薄膜在甲醇环境中的磨损率是干燥环境中的 4.14 倍。结论 含氢碳薄膜经过 500 ℃退火会造成薄膜内部碳原子杂化方式转变,薄膜石墨化,这对干燥环境中薄膜的摩擦学性能有所提高,但并不利于其甲醇环境中的摩擦。 |
Keyword | 含氢碳薄膜 甲醇环境 摩擦学性能 500 ℃退火 双极脉冲 干燥空气 |
If | 2.36 |
Language | 中文 |
compositor | 第二作者单位 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/30522 |
Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Corresponding Author | 黄民备 |
Affiliation | 1.南岳电控(衡阳)工业技术股份有限公司 2.中国科学院兰州化学物理研究所材料磨损与防护重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 黄民备,赖振国,张斌. 含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究[J]. 表面技术,2022,51(1):192-199. |
APA | 黄民备,赖振国,&张斌.(2022).含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究.表面技术,51(1),192-199. |
MLA | 黄民备,et al."含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究".表面技术 51.1(2022):192-199. |
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含氢碳薄膜500℃退火前后摩擦学行为研究(3127KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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