O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响
Department中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心
许文举; 鞠鹏飞; 李红轩; 吉利; 刘晓红; 陈建敏
The second department磨损与表面工程课题组
2020-06
Source Publication中国表面工程
Volume33Issue:5Pages:65-74
Indexed ByEI
If
Language中文
compositor第一作者单位
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/28151
Collection中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心
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GB/T 7714
许文举,鞠鹏飞,李红轩,等. O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响[J]. 中国表面工程,2020,33(5):65-74.
APA 许文举,鞠鹏飞,李红轩,吉利,刘晓红,&陈建敏.(2020).O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响.中国表面工程,33(5),65-74.
MLA 许文举,et al."O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响".中国表面工程 33.5(2020):65-74.
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