一种励磁调制阳极辅助磁控溅射离子镀膜系统 | |
张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力 | |
2021-05-04 | |
Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
Country | 中国 |
Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
The second department | 纳米润滑课题组 |
Patent Number | CN202010241253.3 |
Language | 中文 |
Status | 已授权 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/27741 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张斌,张俊彦,高凯雄,等. 一种励磁调制阳极辅助磁控溅射离子镀膜系统. CN202010241253.3[P]. 2021-05-04. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
一种励磁调制阳极辅助磁控溅射离子镀膜系统(111KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment