| 利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
刘建喜; 赵晶; 刘志鲁 ; 陈淼
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| 2008 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 28Issue:1Pages:6-10 |
| Abstract | 摘要: 在羟基化 Si (111)表面制备十八烷基三氯硅烷 (OTS)自组装单分子膜, 利用 AFM机械刻蚀技术, 通过自编程序设计针尖走向, 以金刚石针尖作为加工工具, 在 OTS自组装单分子膜的 Si (111)表面刻蚀不同结构的纳米图案, 通过预设针尖移动距离和扫描头 Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度. 结果表明: 利用原子力显微镜 (AFM)机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜的 Si (111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案, 其中载荷与加工深度基本呈线性关系; 所获得的纳米图案结构清晰, 刻蚀试验的重复性较好; 经过刻蚀后的图案化区域为裸露的 SiO2 Si表面, 与 OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大, 其表面性质具有明显的可分辨性. |
| Keyword | 原子力显微镜(Afm) 十八烷基三氯硅烷(Ots) 纳米加工 摩擦力 力分布成像 Afm Ots Nanofabrication Friction Force Force Volume Imaging |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(20473106);国家973项目资助(2007CB607605) |
| Indexed By | EI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/2749 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 陈淼 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘建喜,赵晶,刘志鲁,等. 利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究[J]. 摩擦学学报,2008,28(1):6-10. |
| APA | 刘建喜,赵晶,刘志鲁,&陈淼.(2008).利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究.摩擦学学报,28(1),6-10. |
| MLA | 刘建喜,et al."利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究".摩擦学学报 28.1(2008):6-10. |
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| 2008-41435.pdf（691KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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