| 图案化TiO2薄膜的制备技术 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| 梁山; 陈淼 | |
| 2008 | |
| Source Publication | 化学进展
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| ISSN | 1005-281X |
| Volume | 20Issue:11Pages:66.1(0-5) |
| Abstract | 摘要 按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法 3 大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等; 硬质模板法也称软刻蚀技术, 分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。本文综述了图案化 TiO2 薄膜的制备技术, 对每类方法的优缺点作了评述, 对今后图案化 TiO2 薄膜制备的研究方向提出了一些建议。 |
| Keyword | 图案化 Tio2 膜 自组装 光刻胶 光敏膜 软刻蚀 微接触印刷 Patterned Tio2 Films Selfassembly Photoresist Photosensitivefilms Softlithography Microcontact Printing |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金项目(No.20473106);国家重点基础研究发展计划(973)项目(No.2007CB607605);国家自然科学基金创新研究群体科学基金项目(No.50421502)资助 |
| Indexed By | SCI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/2742 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 陈淼 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 梁山,陈淼. 图案化TiO2薄膜的制备技术[J]. 化学进展,2008,20(11):66.1(0-5). |
| APA | 梁山,&陈淼.(2008).图案化TiO2薄膜的制备技术.化学进展,20(11),66.1(0-5). |
| MLA | 梁山,et al."图案化TiO2薄膜的制备技术".化学进展 20.11(2008):66.1(0-5). |
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