LICP OpenIR  > 固体润滑国家重点实验室(LSL)
陶瓷薄膜低温水溶液沉积评述
Department固体润滑国家重点实验室
欧军飞; 周金芳; 杨生荣
2008
Source Publication材料科学与工程学报
ISSN1673-2812
Volume26Issue:3Pages:479-484
Abstract【摘要】 陶瓷薄膜的制备技术多种多样, 如物理气相沉积、化学气相沉积、高温烧结和“溶胶 - 凝胶” 法等。这些技术对制备条件都有较高的要求: 如高温高真空等。近年发展起来的在低温条件下沉积陶瓷薄膜的技术为我们提供了一种设备简单, 在接近室温、常压下可进行操作的方法。本文就这一新兴工艺及其机理进行了评述。
Keyword陶瓷薄膜 低温水溶液沉积 生长机理 Ceramic Film Low Temperature Deposition Growth Mechanism
Subject Area材料科学与物理化学
Funding Organization国家自然科学基金(50572107)资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
Funding Project聚合物摩擦学组
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/2730
Collection固体润滑国家重点实验室(LSL)
Corresponding Author杨生荣
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GB/T 7714
欧军飞,周金芳,杨生荣. 陶瓷薄膜低温水溶液沉积评述[J]. 材料科学与工程学报,2008,26(3):479-484.
APA 欧军飞,周金芳,&杨生荣.(2008).陶瓷薄膜低温水溶液沉积评述.材料科学与工程学报,26(3),479-484.
MLA 欧军飞,et al."陶瓷薄膜低温水溶液沉积评述".材料科学与工程学报 26.3(2008):479-484.
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