水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究

LICP OpenIR > 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心

	水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究
Department	中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心
	董春萌 1,2; 高晓明1 ; 余兵 3; 姜栋1 ; 胡明1 ; 王德生1 ; 翁立军1 ; 孙嘉奕1
The second department	PVD润滑薄膜课题组
	2020
Source Publication	摩擦学学报
Volume	40 Issue:2 Pages:166
Abstract	为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响，采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理，并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究. 研究发现，薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构. 随着水浴处理时间的延长，XRD分析结果中观察到薄膜中非晶相减少，微晶相增加，同时晶粒尺寸先减小后增大. 另外，薄膜的枝状晶上产生了更多的细小枝状晶. 薄膜中的残余应力也随水浴时间延长而发生明显变化. 薄膜的摩擦学性能受到水浴的明显影响，当水浴处理时间为20 min时，MoS2薄膜的耐磨寿命达到未水浴处理薄膜的约 2倍. 分析认为，水浴处理导致溅射MoS2薄膜内应力、组织结构和晶体结构的变化，引起了其摩擦学性能的变化.
Indexed By	中文核心期刊要目总览
If	1.855
Language	中文
compositor	第一作者单位
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.licp.cn/handle/362003/26526
Collection	中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心
Corresponding Author	孙嘉奕
Affiliation	1.中国科学院兰州化学物理研究所 2.中国科学院大学 3.上海宇航系统工程研究所
Corresponding Author Affilication	Lanzhou Institute of Chemical Physics，Chinese Academy of Sciences
Recommended Citation GB/T 7714	董春萌,高晓明,余兵,等. 水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究[J]. 摩擦学学报,2020,40(2):166.
APA	董春萌.,高晓明.,余兵.,姜栋.,胡明.,...&孙嘉奕.(2020).水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究.摩擦学学报,40(2),166.
MLA	董春萌,et al."水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究".摩擦学学报 40.2(2020):166.

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