| PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
张斌
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| 2013 | |
| Source Publication | 中国表面工程
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| Issue | 04Pages:55 |
| If | 0 |
| Language | 中文 |
| compositor | 第二作者单位 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/24541 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张斌. PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜[J]. 中国表面工程,2013(04):55. |
| APA | 张斌.(2013).PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜.中国表面工程(04),55. |
| MLA | 张斌."PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜".中国表面工程 .04(2013):55. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜_曹（889KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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