| 一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法 | |
王富国 ; 张俊彦
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| 2018-06-08 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Country | 中国 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Patent Number | ZL201310708219.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 已授权 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/24294 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王富国,张俊彦. 一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法. ZL201310708219.2[P]. 2018-06-08. |
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