| 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
王福1,3 ; 鲁志斌1; 张广安1; 王立平2; 薛群基1
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| 2017 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 37Issue:3Pages:357-363 |
| Abstract | 为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响，以C2H2和CF4为气源，通过等离子体增强化学气相沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜. 采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、化学组成和力学性能，利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能. 结果显示：较低F含量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si3N4的摩擦系数；少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶ZrO2和Al2O3的摩擦系数；薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高；高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩擦系数产生明显波动，而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加；值得注意的是，高F含量薄膜在不同体系中都表现出高摩擦低磨损的特点. 高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为. |
| Keyword | 非晶碳基薄膜 氟 摩擦 磨损 摩擦化学 Amorphous Carbon Films Fluorine Friction Wear Tribochemistry |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| DOI | 10.16078/j.tribology.2017.03.011 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金项目(51305433) |
| Indexed By | EI&CSCD |
| If | 0.9261(CSCD-JCR) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学研究组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22674 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 张广安 |
| Affiliation | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000 2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋材料与防护技术重点实验室，浙江 宁波 315201 3.中国科学院 中科院大学，北京 100049) |
| Corresponding Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics，Chinese Academy of Sciences |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王福,鲁志斌,张广安,等. 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性[J]. 摩擦学学报,2017,37(3):357-363. |
| APA | 王福,鲁志斌,张广安,王立平,&薛群基.(2017).氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性.摩擦学学报,37(3),357-363. |
| MLA | 王福,et al."氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性".摩擦学学报 37.3(2017):357-363. |
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| 14-王福-摩擦学学报-氟化非晶碳基薄膜（1104KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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