LICP OpenIR  > 固体润滑国家重点实验室(LSL)
C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究
Department固体润滑国家重点实验室
张晓琴1,2; 于富成1; 柴利强2; 许佼2; 贺腾飞1,2; 逄显娟3; 王鹏2
2017
Source Publication摩擦学学报
ISSN1004-0595
Volume37Issue:4Pages:537-543
Abstract

采用射频磁控溅射法,在氩和氮混合气氛下共溅射二硫化钼和石墨靶制备不同石墨靶溅射功率的C/N共掺MoS2复合薄膜(MSCN). 通过EDS、XPS、SEM和TEM对薄膜的成分及微观组织结构进行分析;利用纳米压痕仪,高真空摩擦试验机和UMT-2摩擦试验机分析薄膜的力学和摩擦学性能,并探讨了C/N共掺及对薄膜结构、力学和摩擦学性能的影响. 结果表明:MSCN复合薄膜中的C含量随着石墨靶溅射功率的增加而增加;C/N共掺使得薄膜结构致密平整;当石墨靶溅射功率350 W时,薄膜呈现自形成纳米多层结构,该结构的出现使得薄膜最高硬度可达9.76 GPa,并且在高真空和大气环境下相比纯MoS2薄膜表现出更低的摩擦系数以及良好的高耐磨性.

Keyword磁控溅射 Mscn复合薄膜 自形成多层结构 力学性能 摩擦学性能 Magnetron Sputtering Mscn Composite Films Self-assembled Multilayer Mechanical Properties Tribological Properties
Subject Area材料科学与物理化学
DOI10.16078/j.tribology.2017.04.016
Funding Organization国家自然科学基金项目(51227804;U1404504)
Indexed ByEI&CSCD
If0.9261(CSCD-JCR)
Language中文
Funding Project辐照环境下润滑与防护材料组
compositor第二作者单位
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/22231
Collection固体润滑国家重点实验室(LSL)
Corresponding Author于富成; 王鹏
Affiliation1.兰州理工大学 材料科学与工程学院,甘肃 兰州 730050
2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000
3.河南科技大学 高端轴承摩擦学技术与应用国家地方联合工程实验室,河南 开封 475001
Corresponding Author AffilicationLanzhou Institute of Chemical Physics,Chinese Academy of Sciences
Recommended Citation
GB/T 7714
张晓琴,于富成,柴利强,等. C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(4):537-543.
APA 张晓琴.,于富成.,柴利强.,许佼.,贺腾飞.,...&王鹏.(2017).C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究.摩擦学学报,37(4),537-543.
MLA 张晓琴,et al."C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究".摩擦学学报 37.4(2017):537-543.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
CN共掺MoS2复合薄膜的微结构及其.p(8998KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[张晓琴]'s Articles
[于富成]'s Articles
[柴利强]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[张晓琴]'s Articles
[于富成]'s Articles
[柴利强]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[张晓琴]'s Articles
[于富成]'s Articles
[柴利强]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: CN共掺MoS2复合薄膜的微结构及其.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.