| 不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
贺腾飞1,2; 吴有智1; 许佼2 ; 慕波3; 柴利强2; 张晓琴1,2; 王鹏2
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| 2017 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 37Issue:1Pages:35-43 |
| Abstract | 采用多靶射频磁控溅射方法, 在Si(100)衬底上制备不同调制周期(Λ分别为54 nm、30 nm、18 nm) MoS2/类金刚石(DLC)多层薄膜. 利用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜、纳米压痕仪研究多层膜的形貌、微观结构及力学性能受调制周期的影响规律; 利用球-盘摩擦试验机考察薄膜在大气环境下的润滑性能. 结果表明: 采用交替沉积MoS2/DLC多层膜可有效抑制溅射MoS2中柱状结构生长, 制备的薄膜结构致密; 多层膜硬度随调制周期的增加而增大. 透射断面分析表明: 多层膜层间界面不平整但周期性结构清晰且致密, 其调制周期厚度与试验设定值基本一致. 与纯MoS2薄膜相比, 调制周期为54 nm的薄膜具有较好的法向承载及弹性恢复能力,其硬度最高, 达7.15 GPa; 法向载荷为5 N时, 该薄膜在大气环境(相对湿度约30%)下具有最低的摩擦系数(0.09)和最低的磨损率[1.34×10–7 mm3/(N·m)]. |
| Keyword | 薄膜 Mos2/dlc多层薄膜 不同调制周期 微观结构 力学性能 摩擦学性能 Mos2/dlc Multilayer Film Different Modulation Periods Microstructure Mechanical Properties Tribological Properties Frction Property |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| DOI | 10.16078/j.tribology.2017.01.005 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(51227804;91023041) |
| Indexed By | EI&CSCD |
| If | 0.9261(CSCD-JCR) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 辐照环境下润滑与防护材料组 |
| compositor | 第二作者单位 |
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22229 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 吴有智; 王鹏 |
| Affiliation | 1.兰州理工大学材料科学与工程学院 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室, 甘肃 兰州 730050 2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 甘肃 兰州 730000 3.兰州理工大学 石油化工学院, 甘肃 兰州 730050 |
| Corresponding Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics，Chinese Academy of Sciences |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 贺腾飞,吴有智,许佼,等. 不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能[J]. 摩擦学学报,2017,37(1):35-43. |
| APA | 贺腾飞.,吴有智.,许佼.,慕波.,柴利强.,...&王鹏.(2017).不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能.摩擦学学报,37(1),35-43. |
| MLA | 贺腾飞,et al."不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能".摩擦学学报 37.1(2017):35-43. |
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| 不同调制周期MoS2-DLC多层薄膜结构（3443KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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