| 碳基薄膜的设计、制备与摩擦学性能研究 | |
| 王舟 | |
| Subtype | 理学博士 |
| Thesis Advisor | 张俊彦 |
| 2010-05-07 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Degree Discipline | 物理化学 |
| Keyword | 类富勒烯碳薄膜 碳氮薄膜 热处理 摩擦磨损 摩擦机理 Fullerene-like Carbon Films Carbon Nitride Films Thermal Treatment Tribology And Wear Tribological Mechanism |
| Abstract | 本文利用等离子增强化学气相沉积（PECVD）和溅射技术制备了三种类金刚石碳基薄膜，研究了薄膜的性能结构与制备工艺的相关性，考察了薄膜在不同工况条件下的摩擦学性能，探讨了薄膜的摩擦学机理，主要研究成果如下： 1. 利用直流脉冲PECVD制备了含氢类富勒烯碳薄膜，该薄膜具有高的硬度，优异的弹性恢复以及在空气环境的超润滑性能。薄膜主要由sp2杂化碳组成，含有较多的键合氢，其特殊的弯曲结构赋予薄膜优异的机械性能。考察了压强、速度、对偶材料与其摩擦学性能之间的关系，分析了薄膜在摩擦前后的化学，物理变化，提出了弹性性能和界面碳氢基团共同作用的超润滑摩擦机理； 2. 制备了含氢碳氮薄膜，研究了其在不同退火温度下的热稳定性行为，并测试了相应的摩擦学性质。结果表明，薄膜随温度升高而经历了石墨化转变过程，有利于改善薄膜的摩擦学性能； 3. 采用溅射方法制备了不含氢无定形碳薄膜（a-C），研究了其结构演变和基底偏压的关系，结果表明：石墨化团簇和结构有序性能改善无定形碳薄膜的摩擦学性能。 |
| Subject Area | 薄膜材料 |
| Funding Project | 纳米润滑研究组 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/1693 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王舟. 碳基薄膜的设计、制备与摩擦学性能研究[D]. 中国科学院研究生院,2010. |
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| 201049王舟.pdf（1953KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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